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觀測。它通過磁光調(diào)制技術(shù)來調(diào)整接收光的偏振方向；采用面陣探測器獲取樣品表面的橢偏圖像；采取用磁光調(diào)制器取代傳統(tǒng)步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動起偏器、補(bǔ)償器或檢偏器光軸的方法來實(shí)現(xiàn)橢偏儀的測量，采用磁光調(diào)制器改變接收光的偏振方向，可以得到更高的偏振方向控制精度和重復(fù)精度，而且磁光調(diào)制器的調(diào)制速度更快。該技術(shù)給成像橢偏儀發(fā)展提供了新的方向，較大地提高了測量速度。如果您對橢偏儀相關(guān)產(chǎn)品有興趣，請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁：http://www.champaign.com.cn/three-level-56.html相關(guān)文獻(xiàn)：1薛利軍, 李自田, 李長樂, 等 . 光譜成像儀 CCD 焦平 面組件非均勻性校正技術(shù)研究[J ...
nm。通過與磁光調(diào)制、時間相移和雙反射等技術(shù)的結(jié)合，光譜橢偏技術(shù)提高了測量速度和準(zhǔn)確性。通過與Muller矩陣的結(jié)合，光譜橢偏技術(shù)不再受光學(xué)分辨率極限的限制，提高了測量的準(zhǔn)確性，可以獲得更豐富的信息。2019年華中科技大學(xué)發(fā)明了基于液晶調(diào)相的垂直物鏡式Muller矩陣成像橢偏儀，該儀器所用系統(tǒng)改變了之前普通傾斜鏡面成像的結(jié)構(gòu)，根本上避免了焦深小、視場窄的問題，可實(shí)現(xiàn)高分辨率、寬視場測量，可用于對納米薄膜幾何參數(shù)的測量。2018年韓國朝鮮大學(xué)提出用于表征多層膜結(jié)構(gòu)的大面積光譜成像橢偏儀，利用寬帶光源和成像光譜儀，光譜范圍可以達(dá)到400-800nm。準(zhǔn)直光束通過擴(kuò)束器擴(kuò)展，直徑達(dá)到30mm，通過低 ...
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