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焦檢測系統相比較顯微鏡及千分尺檢測法，該方法利用顯微鏡中成像的清晰度變化代替機械法檢測，具有較高的測量精度；但是檢測系統操作復雜，小尺寸微透鏡陣列的測量過程中尋找其焦點和頂點位置較困難，測量效率不能滿足相應的要求。3，光強計法國內外一些實驗室利用光強計法測量微透鏡陣列的焦距，如圖3-1所示，利用微透鏡陣列焦面附近的光強變化確定最終的焦點位置。圖3-1 光強計測量微透鏡陣列焦距光強計測量微透鏡陣列的焦距時，其檢測系統由光源及準直系統、分光鏡、被測微透鏡陣列、反射鏡、成像物鏡、孔徑光闌和光強探測器組成。經過準直的平行光經分光鏡后通過微透鏡陣列成像，當在微透鏡陣列的焦距放置反射鏡時，光線以光軸為對稱 ...
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