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激光波長調諧與穩頻器-iScan
THz掃描干涉儀
在入射臂采用掃描干涉儀，通過掃描參考鏡獲得傅里葉光譜實現光譜測量，光源的光譜分布是中心波長為610nm和半峰全寬為170 nm。該技術較大地拓寬了光譜帶寬，增強了光強，測量結果更加準確。橢偏儀大多采用透鏡將寬帶光束聚集在樣品表面，然而透射式光學系統設計無法滿足寬光譜的測量要求，在深紫外情況下會產生明顯的色差問題。直到 2013 年，電子科技大學物理電子學院和中科院微電子所改變聚焦成像系統，研制了基于全反射聚焦光學系統的深紫外（DUV）寬帶光譜橢偏儀。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學系統實現寬光譜（200-1000 nm）測量，離軸拋物面鏡用于產生或聚焦準直 光束，平面反射 ...
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