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顯微鏡物鏡掃描臺
顯微式激光測振儀
）是一種將顯微掃描成像技術(shù)應(yīng)用于光電流檢測的技術(shù)，類似于顯微光譜成像，可以檢測樣品微觀區(qū)域中光電流強(qiáng)度的分布，為樣品被掃描區(qū)域構(gòu)建出完整的光電流強(qiáng)度信息圖，主要用于分析材料的分布、構(gòu)成與組分。我司代理的XperRam Photocurrent光電測試系統(tǒng)在40倍物鏡下可以達(dá)到200微米*200微米的掃描范圍。如上圖所示，為我司代理的XperRam Photocurrent光電測試系統(tǒng)光路圖，綠色線條為激光光路。激光通過反射鏡、濾波片、振鏡、擴(kuò)束系統(tǒng)、反射鏡、顯微物鏡后聚焦在樣品表面，樣品在激光照射下產(chǎn)生光電流，電流值通過探針被數(shù)字源表讀出并被軟件記錄。而掃描控制器Scanner會(huì)控制振鏡在X和 ...
技術(shù)擺脫了顯微掃描成像的局限，使用CCD相機(jī)采集橢偏圖像，將成像技術(shù)與橢偏技術(shù)相結(jié)合，研發(fā)出成像橢偏儀，該橢偏儀可以觀測油滴在云母基地上的擴(kuò)散過程，較大提高了測量效率。20 世紀(jì) 90 年代，基于橢偏測量技術(shù)的橢偏光學(xué)顯微成像發(fā)展開來。1996年，中科院靳剛教授與瑞典林雪平大學(xué)的Jansson和Arwin以起偏器-補(bǔ)償器-樣品-檢偏器（PCSA）橢偏儀為基礎(chǔ)，采用準(zhǔn)直擴(kuò)展光束為入射光，CCD 相機(jī)作為探測器，如下圖所示，對硅基層透明薄膜進(jìn)行可視化，橫向分辨率達(dá)到5μm。該技術(shù)在由起偏器、補(bǔ)償器、樣品和檢 偏器組成的消光式橢偏儀中使用光度式，在襯底裸露部分進(jìn)行消光調(diào)節(jié)，然后在保持補(bǔ)償器方位角、偏 ...
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