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面的破損影響光學系統透過率和像質；同時，該方法檢測精度較低，且一次測量只能完成一個子單元的焦距測量，不適合單元數較多的微透鏡陣列檢測。2，顯微鏡共焦檢測法西安光學精密機械研究所使用一種基于顯微鏡共焦檢測系統的方法測量微透鏡陣列的焦距，如圖 2-1所示。根據顯微鏡中像點清晰度變化確定微透鏡陣列的頂點和焦點位置，完成微透鏡陣列的焦距測量測量系統需要兩個點光源1、6和相應的準直系統，測量分兩步進行：首先確定焦點位置，利用點光源1的出射準直光源經過被測微透鏡陣列成像與其焦點上，移動顯微鏡使像點最清晰即顯微鏡與微透鏡陣列共焦；再關閉光源1而開啟點光源6，移動顯微鏡物方焦點至微透鏡陣列頂點處，兩次測量過程 ...
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