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而反射式和折反射式光學系統占有較大的比例。同時，光學系統的結構應盡量簡單，以減少能量的損失。其次，紅外光學系統的接收器不是人眼或膠片，而是光電探測器。因此，光學系統的性能以它和探測器匹配的靈敏度、信噪比為主要評價依據，而不是單純考慮光學系統的分辦率。第三，由于紅外輻射波長較長,相應的衍射極限較低。早期的紅外探測器分辨率低，對光學系統的像質要求也相應較低。但隨著紅外探測器分辨率的提高，對光學系統的要求也越來越高，而要得到較高的分辨率必須要有大的相對孔徑。對于光機掃描結構，光學系統的視場較小，屬于大孔徑小視場系統，但要考慮對像面彎曲或畸變的特殊要求。對于凝視成像系統，由于探測器像元數比掃描型要多得 ...
面反射鏡的全反射式光學系統實現寬光譜（200-1000 nm）測量，離軸拋物面鏡用于產生或聚焦準直 光束，平面反射鏡用于改變光束方向并補償由離軸拋物面鏡反射引起的偏振態變化，解決了色差問題。2016 年，合肥工業大學和中國科學院微電子所在深紫外寬帶光譜儀的基礎上增加快速旋轉補償器式的橢偏結構，該結構實現了寬光譜成像，將光譜范圍拓寬到深紫外波段，橫向分辨率約為8. 77μm×4. 92μm，并減小了系統誤差。其測量結構如下圖所示。全反射式橢偏成像系統結構示意圖在拓寬光譜范圍的同時，提高測量速度和準確性也成為成像橢偏儀的重要研究方向。2010年，清華大學吳學健等發明了一種基于磁光效應的成像橢偏儀， ...
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