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中文：物理-化學刻蝕；英文：physical-chemical etching

關鍵詞

解釋

物理刻蝕及化學刻蝕結合的工藝過程。化學反應削弱化學鍵以增強離子濺射的效果，離子轟擊又給化學反應提供了能量，具有較好的選擇性。

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