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溝槽深蝕刻脊波導激光器,采用380nm SiNx作為側壁絕緣,并向下安裝在復合金剛石底座上。為了進行測試,所有的臺面和激光設備都安裝在AlN上的直接結合銅襯底上。電致發光(EL)光譜在不同溫度和脈沖電流(80kHz重復頻率;脈沖寬度100-500ns),使用傅里葉變換紅外(FTIR)光譜儀進行步進掃描模式和ln2冷卻MCT探測器,波長截止為12.5μm。在快速掃描模式下,使用相同的FTIR設置獲得激光光譜。脈沖(200 ns;使用室溫MCT檢測器在80-300K的溫度范圍內測量了光電流-電壓(LIV)特性。圖2該設計在80K和297K下顯示了超寬增益光譜(圖2(a)和(b)),跨度超過一個倍頻 ...
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