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ENGLISH

中文：硅基波導；英文：silicon-based waveguide

關鍵詞

解釋

在硅基材料上形成的光波導結構。它主要包括硅基IV族波導、硅基聚合物波導、SiO2波導和硅基上絕緣材料（SOI）波導等。

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