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中文:量子刻蝕;英文:quantum lithography

解釋
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利用光場的量子性質或具有量子關聯(lián)和量子糾纏特性的光場,以期在分辨率等方面獲取優(yōu)于經典光場刻蝕的結果而進行的成像刻蝕。
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