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儀的原理基于等厚干涉,當光線在兩個平行表面之間多次反射時,會產生干涉條紋,通過分析這些干涉條紋,可以測量出表面的微小不平整度。菲索干涉儀的構造通常包括以下幾個部分:1.光源:提供穩定的單色光或準單色光。2.準直系統:將光源發出的光變成平行光束。3.分束器:將光束分為參考光束和測試光束。4.標準平面或球面:作為參考表面,與被測表面形成干涉。5.被測光學元件:待測量的光學表面。6.成像系統:用于觀察和記錄干涉條紋。菲索干涉儀的應用非常廣泛,它可以用于檢測透明平行平板的光學厚度均勻性,也可以用于測量球面的面形和曲率半徑。此外,菲索干涉儀還可以檢測無限、有限共軛距鏡頭的波面像差。菲索干涉儀的測量精度通 ...
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