，研制了基于全反射聚焦光學系統的深紫外（DUV）寬帶光譜橢偏儀。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學系統實現寬光譜（200-1000 nm）測量，離軸拋物面鏡用于產生或聚焦準直 光束，平面反射鏡用于改變光束方向并補償由離軸拋物面鏡反射引起的偏振態變化，解決了色差問題。2016 年，合肥工業大學和中國科學院微電子所在深紫外寬帶光譜儀的基礎上增加快速旋轉補償器式的橢偏結構，該結構實現了寬光譜成像，將光譜范圍拓寬到深紫外波段，橫向分辨率約為8. 77μm×4. 92μm，并減小了系統誤差。其測量結構如下圖所示。全反射式橢偏成像系統結構示意圖在拓寬光譜范圍的同時，提高測量速度和準確性 ...

譜探頭、衰減全反射探頭（ATR Probe）等。 ...