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高精度中空回射器/角反射器（各種精度、各種形狀、中空回射器陣列）
小型傅里葉紅外光譜儀（2-16um紅外光譜儀）
描參考鏡獲得傅里葉光譜實(shí)現(xiàn)光譜測(cè)量，光源的光譜分布是中心波長(zhǎng)為610nm和半峰全寬為170 nm。該技術(shù)較大地拓寬了光譜帶寬，增強(qiáng)了光強(qiáng)，測(cè)量結(jié)果更加準(zhǔn)確。橢偏儀大多采用透鏡將寬帶光束聚集在樣品表面，然而透射式光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)無法滿足寬光譜的測(cè)量要求，在深紫外情況下會(huì)產(chǎn)生明顯的色差問題。直到 2013 年，電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院和中科院微電子所改變聚焦成像系統(tǒng)，研制了基于全反射聚焦光學(xué)系統(tǒng)的深紫外（DUV）寬帶光譜橢偏儀。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)寬光譜（200-1000 nm）測(cè)量，離軸拋物面鏡用于產(chǎn)生或聚焦準(zhǔn)直 光束，平面反射鏡用于改變光束方向并補(bǔ)償由離軸 ...
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