波像差系列（一）-波像差概念前面對(duì)像差的討論是以幾何光學(xué)為基礎(chǔ)，用光線經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)的實(shí)際光路相對(duì)于理想光路的偏離來(lái)度量的,統(tǒng)稱(chēng)為幾何像差。它直觀、易算,可用其數(shù)值的大小來(lái)描述一點(diǎn)成像時(shí)，幾何光線的密集程度，從而評(píng)估像質(zhì)的優(yōu)劣。但光線本身是一抽象的近似概念，用它的密集程度來(lái)評(píng)價(jià)像質(zhì)，在很多場(chǎng)合下與實(shí)際情況并不符合，而且像差也不可能完全校正到零。人們把幾何像差分為多種，實(shí)際上光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量是像差的綜合影響，各種像差之間具有很強(qiáng)的相關(guān)性。因此,必須考慮像差的較佳校正方案，并根據(jù)系統(tǒng)的使用要求和使用狀況給出合理的像差。這些像質(zhì)評(píng)價(jià)問(wèn)題常須基于光的波動(dòng)本質(zhì)才能解決。與上述像質(zhì)評(píng)價(jià)問(wèn)題密切相關(guān)的是光學(xué)系統(tǒng) ...

波像差系列（五）-參考點(diǎn)移動(dòng)產(chǎn)生的波像差、焦深參考點(diǎn)的位置變化時(shí),對(duì)于幾何像差而言，只是相當(dāng)于坐標(biāo)原點(diǎn)的變化，不會(huì)引入新的像差進(jìn)入到系統(tǒng)中。但是對(duì)于波像差而言則不同，擋參考點(diǎn)的位置變化時(shí)，相當(dāng)于參考球面的半徑發(fā)生變化，使得新的參考球面與原來(lái)的參考球面有所偏離，這就是參考點(diǎn)移動(dòng)所產(chǎn)生的波像差。若參考點(diǎn)沿波面對(duì)稱(chēng)軸移動(dòng)，其所引起的波像差變化量 可應(yīng)用公式以 代替其中的球差來(lái)求得，即當(dāng)參考點(diǎn)在垂軸方向移動(dòng)時(shí),其所產(chǎn)生的波像差的變化量可對(duì)如下公式進(jìn)行積分而得。此時(shí)式中的常量,，并考慮到，得焦深，是焦點(diǎn)深度的簡(jiǎn)稱(chēng)。光學(xué)成像系統(tǒng)的焦深指的是當(dāng)系統(tǒng)像面移動(dòng)造成的系統(tǒng)波像差變化不超過(guò)四分之一波長(zhǎng)時(shí)，則認(rèn)為這個(gè) ...

波像差系列（七）-球色差、幾何色差與波像差的關(guān)系當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)使二色波面在邊緣帶相交即對(duì)邊緣孔徑校正波色差時(shí),由于二色波面對(duì)參考球面的偏離程度不同，在中間各帶仍會(huì)有剩余的波色差存在。這是由于各色光線的球差各不相同而引起的，故稱(chēng)之為球色差。按照我們幾何像差的觀點(diǎn)，球差隨色光的變化，使得二種色光在某一帶上校正了色差后，其他帶上定有剩余色差。剩余色差的大小,標(biāo)志著球色差的大小。光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)對(duì) 0.707 帶校正幾何色差，這與對(duì)邊緣帶校正波色差是一致的。這是因?yàn)榻^大部分系統(tǒng)，幾何色差可認(rèn)為是與孔徑的平方成比例上式為位置色差的表述形式。如果以孔徑的平方為織坐標(biāo)軸作色差曲線,則所得為一直線，如下圖所示。它對(duì)縱軸 ...

波像差系列（八）-光學(xué)系統(tǒng)的像差容限光學(xué)系統(tǒng)不可能把像差校正得盡善盡美。那么多大的像差能被認(rèn)為是允許的？這是一個(gè)很重要的問(wèn)題，也是一個(gè)甚為復(fù)雜、并且還不能認(rèn)為已被解決了的問(wèn)題。原因是光學(xué)系統(tǒng)的像差容限不僅與像質(zhì)評(píng)價(jià)方法有關(guān)，還隨系統(tǒng)的使用條件、使用要求和接收器性能等的不同而不同，而諸多像質(zhì)評(píng)價(jià)方法之間雖然有直接或間接的聯(lián)系，但它們各自有其局限性，不能用任一種方法來(lái)評(píng)價(jià)各種光學(xué)系統(tǒng)。而且有些方法數(shù)學(xué)推演繁復(fù)，計(jì)算困難，實(shí)際上也很難從像質(zhì)判據(jù)直接得出像差容限。由于波像差與幾何像差之間有著較為方便和直接的聯(lián)系，因此，以最大波像差為評(píng)價(jià)依據(jù)的瑞利判斷是一種方便而實(shí)用的像質(zhì)評(píng)價(jià)方法。利用它可由波像差的允 ...

技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展。在光刻機(jī)行業(yè)中，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和校正光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的誤差，從而提高光刻質(zhì)量和成品率。這款新的紫外波前傳感器的推出，將進(jìn)一步提升光刻機(jī)的性能，加速半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。波前傳感器原理介紹：193nm波前分析儀采用四波橫向剪切干涉技術(shù)，該技術(shù)是一種用于測(cè)量激光波前、光刻物鏡波像差，光學(xué)元器件面型表征的技術(shù)，其原理是測(cè)試光波經(jīng)過(guò)兩個(gè)正交（0、π）的相位光柵，獲得四個(gè)干涉光束，四束光兩兩干涉，通過(guò)測(cè)量這四個(gè)干涉光束的干涉后的光強(qiáng)分布來(lái)計(jì)算光波的相位分布。該技術(shù)采用0和π的二維光柵作為分光器件，利用該二 ...