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蓋板玻璃,前透明電極,液晶層,反射鏡像素,集成電路背板(CMOS工藝)等結構組成。SLM有著廣泛的應用,可以用于光束轉向、分束、調焦,光鑷,脈沖整形,衍射光學等領域。SLM的剖面圖和相位調制原理圖如圖一所示:圖1 SLM截面圖及相位調制原理蓋板玻璃起到保護和封裝液晶的作用,針對實際使用中光源的不同波長范圍,蓋板玻璃表面鍍有相應波長范圍的寬譜AR膜,可以大大減少反射光,提高系統效率。前透明電極層位于液晶層的頂部,加載有恒定電壓。液晶層是SLM中的工作物質,液晶分子的排列狀況可以在電場作用下發生變化,從而改變經過該像素的光的相位延遲。像素位于液晶層底部,其上鍍有鋁或介質膜的反射層,具有很高的反射 ...
:保護玻璃,透明電極,液晶層,像素電極層(Wafer)構成。1) 保護玻璃的透過率窗口片保護玻璃的透過率在相應的工作波段(400-800nm,500-1200nm,850-1650nm)內通常在98.5-99.5%范圍內,因此有少量的光被直接反射回去。2)透明電極的透過率透明電極的透過率一般都在99%以上,該部分造成的零級光基本可以忽略。3)空間光調制器填充率像素電極層(Wafer)由一個個的獨立像元構成,從而SLM可以實現針對單個像元的獨立調制。相鄰像元之間會有微小的縫隙,縫隙部分無法加載電壓,因此對應的液晶層無法加載相位,這部分未被調制的光會反射回去,產生零級光。4)入射光照射到非工作區域 ...
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