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中文:微納光學(xué)加工;英文:micro/nano optical fab-rication

解釋
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在光學(xué)、光電、塑料等材料表面,以各種圖形復(fù)制、轉(zhuǎn)移和腐蝕等方法制備出微納尺度或微納米精度圖形結(jié)構(gòu)的過程。
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