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中文：微納光柵加工；英文：micro/nano grating fabrication

解釋
中文：微納光柵加工；英文：micro/nano grating fabrication的原理；中文：微納光柵加工；英文：micro/nano grating fabrication的定義；中文：微納光柵加工；英文：micro/nano grating fabrication是什么。
 按所設(shè)計(jì)的光柵參數(shù)（如周期和高寬比等）要求，選取其基底和膜層材料，利用微納加工技術(shù)制備微納光柵的過程。
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