evice”數字微鏡器件,是一種基于MEMS技術的微反射鏡陣列單元，單元數量可達百萬量級，是一種電子輸入、光學輸出的微機電系統 (MEMS)，開發人員可借助該系統執行高速、高效及可靠的空間光調制。圖1：DMD單個工作單元圖示1、何為無掩模光刻？無掩膜光刻即不采用光刻掩模板的光刻技術。在傳統光刻過程中，需要采用光學照射掩模版的方式將圖案轉移到掩模版上；而在無掩模光刻中，對目標圖案的轉印不需要掩模版，而是通過電子束或光學的方式直接在基片上制作出所需要的圖案，這種方式避免了傳統方式制作掩模版效率低、分辨率低、成本高的缺點。2、何為DMD無掩模光刻？DMD無掩模光刻是光學無掩模光刻技術的一種，該技術使 ...

包括毛玻璃、數字微鏡器件、LED陣列，最快刷新頻率可以達到100MHz量級。近年來出現的波導相位調制集成光路等技術使得光源調制方式實現了固態化（見圖2）。本課題組也自主研制了大功率、刷新頻率可達幾十kHz的高性能可編程贗熱光源，對一定距離的室外運動目標實現了準實時成像。在成像算法方面，壓縮感知和機器學習大幅減少了成像所需采樣次數，提升了關聯成像速度。同時，為了實現運動物體的實時成像，減少算法的耗時也是值得關注的問題。圖2硅基芯片耦合多模光纖的二維贗熱光源及成像裝置示意圖其次，根據實際場景優化成像策略，也可以提升關聯成像速度。通過設計照明方式，關聯成像獲取物體信息的方式比傳統成像更加靈活。現有方 ...

DMD在雙光子激發顯微鏡中應用時間聚焦是一種高度并行的激光激發技術，廣泛應用于細胞動態成像、光遺傳學和微制造等領域。雖然時間聚焦多光子激發顯微鏡能在寬視場成像，但在軸向分辨率方面傳統點掃描多光子顯微技術更占優勢。一種改進方式是采用線掃描的工作方式，將光線聚焦到線中來對激發平面進行圖形化，提高軸向分辨率。而使用DMD可以有效實現對光的快速空間調制，在激發面形成動態圖樣。同時由于DMD的圖樣可編程性，可以控制線寬，也可以同時照明多條線，并快速掃過樣品。這有利于實際實驗中平衡照明區域和軸向分辨率的不同需求。上圖為實驗裝置示意圖。激光束經過反射光柵衍射，通過兩個凸透鏡將經過衍射的光束投射在DMD的微鏡 ...

從歷史上看，數字微鏡器件（DMD）技術的主要應用一直是在顯示系統中，在過去數年中，DLP嵌入式用戶正在探索許多新的應用。其中許多應用都考慮將激光器與 DMD結合使用。激光使用連續和脈沖模式操作。脈沖操作的眾多優點之一是，在脈沖期間可以達到非常高的峰值功率，并且平均功耗相對較低。這種工作模式可實現各種燒蝕模式（熱和非熱），適用于沉積、醫療和其他應用。過去依據穩態熱模型來預測DMD陣列和像素的溫度，并以模型為基礎形成Vialux的DMD數據手冊上最大照明功率密度規格。然而在考慮脈沖激光照明條件時，DMD的像素瞬態溫度不能被忽視。大溫差和高溫會降低DMD的半導體器件使用壽命。即使極短時間高溫，在多周 ...

《DMD的激光功率處理》白皮書介紹（二）《《DMD的激光功率處理》白皮書介紹（一）》中提到DMD在不斷拓展應用場景時面臨許多挑戰。而在脈沖激光系統中應用時，激光功率和其造成的數字微鏡升溫問題尤為重要。我們需要知道其中制約關系，防止在實際使用中損壞DMD器件。前文介紹了單個DMD微鏡在不同脈沖激光條件下升溫降溫過程，并建立描述這一過程的物理模型。接下來的內容是將單個微鏡的升溫過程置于微鏡陣列和基底環境中，以求得在DMD使用場景下應當遵循的一般使用條件。前文模型僅預測單像素溫度上升模式，為確定總像素溫度，必須知道陣列溫度。陣列溫度取決于特定的封裝。在確定的輸入光能量時，陣列溫度一般與封裝背面的陶瓷 ...

激光器可采用數字微鏡器件(DMD)作為濾波器。與Mach-Zehnder干涉儀、Sagnac濾波器和光纖布拉格光柵相比，DMD具有高速調諧和不同波長之間靈活切換的優勢。您可以通過我們的官方網站了解更多的產品信息，或直接來電咨詢4006-888-532。 ...

本文介紹一種數字微鏡器件(DMD)全息顯示技術。系統利用激光二極管(LD)陣列，應用結構照明(SI)來擴展DMD的小衍射角。為了消除SI的衍射噪聲，在傅里葉濾波器中采用有源濾波器陣列，并將其與LD陣列同步。利用DMD的快速運行特性，通過時域復用降低散斑噪聲。此系統可在大視角下觀察到無斑點噪聲的全息圖。數字微鏡器件DMD全息顯示的另一個主要問題是相干光源的散斑噪聲。散斑是一種由散射相干光產生的隨機干涉圖樣，它會嚴重降低全息圖的質量。此外，高強度的相干斑干涉可以損害人類的視覺系統。通過對不同隨機相位圖生成的全息圖進行時域復用處理可以實現：通過疊加具有不相關散斑圖的多個全息圖來抑制散斑噪聲。這種方法 ...

物體。后來，數字微鏡器件（DMD）被用作提高照明速度的主要器件。使用 DMD，在緊湊的 SPH 系統中同時實現了快速熒光成像和相位成像。人們還探索了一些改進以提高 SPH 的性能，包括為壓縮感知選擇各種照明模式的適當順序以及開發同軸干涉測量以提高魯棒性。當前不足：（1）當前實現全息固有的相位步進（phase stepping）方法導致成像速度慢，從而通量低。（2）Lee全息圖和超像素法都是以獨立像素為代價實現的，因此減少了重建圖像中有效像素的數量。（3）幾乎沒有報道將 SPI/SPH 應用于生物組織中的微觀結構成像，這主要是由于成像系統的性能有限和生物樣品的散射對比度相對較低。文章創新點：基于 ...

基于DMD的320nm以下紫外光應用可靠性研究介紹許多大學、研究中心和終端設備制造商已經發表了多篇關于使用DMD的無掩模光刻的論文。利用DMD的生產系統已經由多家原始設備制造商推出。 通常，這些工具選擇使用多個中到高分辨率DMD以實現高數據吞吐量，并在365-410nm范圍內工作。典型工作條件是在DMD上的3-5W / cm2 照明，溫度保持在30°C以下。 基于這些條件，制造商已經能夠將DMD系統穩定運行。設備在 UV-A 范圍內的 3.4W/cm2 、25°C條件下始終表現出超過 3000 小時的運行時間。生產合格的UV DMD中使用的標準UV窗口具有320-400nm的可用透射率區間。為 ...

開發出反射式數字微鏡器件（DMD）被廣泛應用于投影儀中。這一系列技術支持下，人們的日常生活更加豐富。后來隨著技術發展，出現了微機電系統（MEMS）和新型電光材料等，也出現了新型空間光調制器，例如液晶空間光調制器（LC-SLM）、光柵光閥（GLV）等。1、液晶顯示器LCD液晶是一種介于液態和固態之間的材料，具有良好的電光效應性能。LCD 利用了液晶雙折射效應和扭曲向列效應構成的混合場效應。在扭曲向列液晶盒兩側加入偏振方向相互平行的偏振片，就構成了單個LCD像素單元。當沒有對液晶盒施加電壓時，入射光經過起偏器成為線偏振光，經過液晶時偏振方向隨著液晶分子取向旋轉，Z后偏振方向與檢偏器相互垂直，此時該 ...