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亮斑,稱為“艾里斑”。因此當兩個點物體距離較近時,它們通過成像系統后形成的兩個艾里斑就會重疊到一起無法分辨,兩個物點恰能分辨的距離就是極限分辨距離,對應的張角即為極限分辨角,這就是著名的“瑞利判據”。科學家發現,通常情況下該極限分辨率與光的波長(λ)、成像系統口徑(D)和數值孔徑(NA)等參數有關。瑞利判據為了獲得更好的成像效果,科學家嘗試了許許多多的方法:在光刻系統中使用越來越短的光波(如目前因特爾等芯片企業已開始使用極紫外光),擴大成像系統口徑(如天文望遠鏡口徑已達到10米以上),增加成像系統數值孔徑(如顯微成像系統使用浸油等方式獲得更大的NA)等,但這些方法都未能擺脫理論極限的影響。“衍 ...
,聚焦光斑(艾里斑)半徑為ωf=1.22λf/D,而遠場發散角θ=ωf/f。激光遠場發散角θ表明了激光不顯著發散開來可傳播的距離,與聚焦能量有關,是常用的光束質量判據。2.光束質量因子β光束質量因子β(又稱為衍射極限倍數因子)是使用較為廣泛的一種激光光束質量評價指標,其定義為實際光束遠場發散角θ(上文中的遠場發散角)與理想光束遠場發散θ角之間的比值,即β=θ/θ 。實際光束的β值一般均大于1,β數值越小,光束質量越高(類似于M )。但是運用β評定光束質量時需要忽略不計測量系統造成的衍射影響,β因子必須與測量光學系統的參數無關,此時它是衡量激光器輸出光束質量的一個合理特征參數;且因之可反映實際光 ...
中心亮斑(即艾里斑)占有的光強度比理想成像的時候要低,這兩者的光強度之比稱為Strehl強度比,又稱為中心點亮度,以S.D.表示。Strehl判斷認為,中心點亮度S.D.>= 0.8的時候,該光學系統是完善的。如下圖,物點發出的波面經過理想光學系統后,在出射光瞳處得到的是球面波,而實際光學系統的像差使像方的波面不再是球面波,像差的影響就是通過這種位相的變化而反映為衍射圖樣的變化。如果像差引起的光程差,即波像差為W,那么對于一個像差很小的光學系統來說中心點亮度S.D.與波像差W之間有相對簡單的關系,即S.D.=1- k^2 ˉ(W^2 )利用這種關系和上述S.D. >= 0.8的判據 ...
源的像是一個艾里斑。艾里斑的第一個零點定義為瑞利衍射極限1.22λf#。f-數是f#盡管瑞利分辨率是表述成像系統分辨率的傳統方法。我們在這里用它來衡量成像系統的自由度。如果一個相干成像系統的探測器平面最大線性尺度是Wd,則圖像可分辨的點數S正比于:S是系統的信息傳遞能力的基本限制,我們稱其為空間帶寬積(space-bandwidthproduct, SBWP)。一個系統的空間帶寬積是一個定值。由于非相干成像系統的OTF是光瞳函數的自相關,所以非相干成像系統的空間帶寬積是4S。但是后續的討論會忽略掉倍數4,因為它對計算成像概念的影響很小。對于即將進行的討論,重要的是認識到,在一個平面上使用資源來 ...
孔,則光斑為艾里斑,。根據用途不同,激光掃描記錄儀的光點尺寸也不同。二是焦距。焦距由要求掃描的像點排列的長度L和掃描角度決定,即當掃描長度一定時,與呈反比關系。在F數一定時,應盡可能用大的角,小的,以減小透鏡和反射鏡尺寸,從而減小棱鏡表面角度的不均勻性和掃描軸承的不穩定性造成的不利影響。又由于入射光瞳位于掃描器上,在實現像方遠心光路時,小可以使物鏡與掃描器之間的距離減小,使儀器軸向尺寸減小。但L一定時,小就大,這給光學設計帶來了困難,使光學系統復雜,加工制造成本增大。反之,儀器縱向尺寸加大,使用不便。實際工作中,應綜合考慮各方面因素,反復權衡,才能最后確定。大多數線性成像物鏡屬于小相對孔徑(一 ...
能主要集中在艾里斑中,而像差的存在使衍射光斑的能量比無像差時更為分散。屬于這一類的像質評價方法有斯特列爾判斷、瑞利判斷和分辨率。像差系統,通常用幾何光線的密集程度來表示,與此對應的評價方法有點列圖。1,斯特列爾判斷Strehl 強度比(斯特列爾比,Strehl ratio):當光學系統有像差時,衍射圖樣中中心亮斑(艾里斑)占有的光強度要比理想成像時有所下降,兩者的光強度比稱為Strehl 強度比,又稱中心點亮度,以 S.D.表示。Strehl判斷(Strehl criterion):中心點亮度(斯特列爾比)S.D.≥0.8時,系統是完善的。 斯特列爾提出的中心點亮度S.D.≥0.8的判據是評價 ...
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