中文：光學(xué)微機電系統(tǒng)；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的原理；中文：光學(xué)微機電系統(tǒng)；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的定義；中文：光學(xué)微機電系統(tǒng)；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS是什么。
簡稱“微機電系統(tǒng)”。一種利用微電子、微機械技術(shù)把電子、機械和光學(xué)部件集成在一起實現(xiàn)某些功能的微小集成系統(tǒng)。它屬于微電子 （集成電路）、微機械和微納光學(xué)三者相互交叉形成的一個學(xué)科分支的研制成果，例如數(shù)字微反射鏡陣列器件（DMD）、光波導(dǎo)陣列開關(guān)、微機械法布里-珀羅腔（陣列）器件等。