光束干涉生成干涉圖樣，由CCD探測器接收，從而完成干涉測量。工作原理：通過照明小孔產生衍射波，衍射波作為參考波面，與被測光學系統產生的波面進行干涉，通過分析干涉圖樣來得到被測光學系統的波前誤差。關鍵技術：關鍵技術之一是小孔掩模技術。小孔掩模的主要作用是通過衍射產生接近理想的球面波用于干涉測量，其直徑、圓度及三維形貌對測量精度有決定性影響3。在點衍射干涉儀中，小孔的直徑、圓度以及三維形貌對測量精度有重要影響。為了制造出滿足測量要求的高質量小孔，需要對影響參考球面波質量的因素進行嚴格的仿真計算和分析。點衍射干涉儀的檢測精度取決于衍射板中針孔衍射產生的參考球面波質量，而針孔的直徑是影響參考球面波質量 ...

以形成不同的干涉圖樣1113。干涉條紋實際上是等光程差的軌跡，因此，分析干涉產生的圖樣需要求出相干光的光程差位置分布的函數。邁克爾遜干涉儀的zhu名應用之一是邁克爾遜-莫雷實驗，該實驗證實了以太的不存在，為狹義相對論的基本假設提供了實驗依據。此外，邁克爾遜干涉儀還在引力波探測中得到廣泛應用，如激光干涉引力波天文臺（LIGO）等，通過測量由引力波引起的激光的光程變化來探測引力波。邁克爾遜干涉儀還被應用于尋找太陽系外行星的探測中，以及在延遲干涉儀，即光學差分相移鍵控解調器（Optical DPSK）的制造中有所應用。它也是測量長度變化、微小波長差的有力工具，并在大學物理教學中用于可視化教學，幫助學 ...