上，由于中心色差就會使透射率減少，石英玻璃的這種現象已經得到改善；氟化鋰則表現出輕微的潮解特性。對于紫外波段使用的光學元件，減輕重量會利于光刻工藝。對于用KrF準分子激光器(波長248nm)、 ArF準分子激光器(波長193nm)和F?準分子激光器(波長157nm)作光源的，一般選用鹵化物晶體作為諧振 腔窗口材料，由于折射系數均勻性和變形相關的問題而使用石英玻璃來減輕鏡頭重量。由于色差校正無法 用一種玻璃材料進行，所以提出了幾種方案，包括一個具有標準具、棱鏡衍射光柵和光學反射鏡組合系統的高頻窄帶準分子激光器。3.濾光片濾光片是光路中的重要組件之一，主要用來實現提取、增強、減弱特定光線或圖像以達 ...

布置(以消除色差):使用焦距750 mm的金色球面鏡。使用合適的帶通光譜濾波器限制光譜范圍(中心波長為4μm或2500 cm- 1500 nm帶寬，Thorlabs FB4000-500)。使用固定在20厘米掃描臺上的輻射熱計陣列(FLIR玻色子，640x480 px)記錄不同位置的光束輪廓;根據ISO標準11146，掃描范圍涵蓋必要的瑞利距離。圖2上圖2。通過M2表征(4μm中心波長，500 nm帶寬)獲得的中紅外超連續譜束在不同位置的分布:(a-c)靠近焦點位置(a,b為特意像散光束的長、次軸);(d)在準直器后直接測量的超連續譜激光源的實際出射光束(歸一化，輻射熱計未進行現場校正)。超連 ...