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激光干涉儀和光學陀螺儀。氣動(氣體或空氣加壓)隔振臺曾經是學術界和工業界最關鍵的微型機械設備的支柱,但如今在隔離破壞性低頻振動方面卻表現不理想。在建筑物中將敏感的儀器放置在承受極高振動水平的位置上的趨勢正在增長,這是氣動隔振臺的重要障礙,意味著需要新的隔振解決方案來替代。振動源納米級儀器對由多種因素引起的極小的有效載荷振動都表現敏感。每個結構(建筑)都會從內部和外部源傳遞振動。在建筑物中、供暖和通風系統、風扇、泵和電梯產生的振動只是一部分,在建筑物外部,附近的道路交通、建筑物、飛機、甚至還有其它產生振動的機械裝置。儀器受振動的影響程度取決于儀器在建筑物中的位置以及與振動源的距離。負剛度隔離器原 ...
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