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中文:微光機電陀螺;英文:MOEMS gyroscope

解釋
中文:微光機電陀螺;英文:MOEMS gyroscope的原理;中文:微光機電陀螺;英文:MOEMS gyroscope的定義;中文:微光機電陀螺;英文:MOEMS gyroscope是什么。
利用微加工技術和微光學集成技術,將環形腔、光源、調制器及探測單元集成為一微小結構,并利用薩尼亞克效應原理制成的微小型陀螺。
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