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中文:鎖相干涉儀;英文:phase-locked interfero-meter

解釋
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一種運用鎖相技術的光學干涉儀。其原理是使用探測器將干涉圖樣轉換為電信號,然后去控制干涉臂或者參考臂,從而實現干涉條紋的穩定。為了測量一個區域,探測器需要掃描整個波前,由于掃描速度會發生改變,含有大量條紋的干涉圖可以通過鎖相干涉儀測量出來,重復精度可以達到百分之一波長。
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