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中文:多程干涉術;英文:multipass interferometry

解釋
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又稱“多通道干涉術”。準直光束多次(n次)從光被測波面來回反射或透射,光程差被放大n倍形成多程干涉條紋的干涉術。可使測量靈敏度提n倍。多程干涉儀可用來測量平板的均勻性、大平面的粗糙度、角錐棱鏡的角度誤差等。
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