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中文:濺射鍍膜;英文:sputtering coating

關(guān)鍵詞
解釋
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在真空條件下以惰性氣體(如Ar)的荷能粒子轟擊固體靶材表面使靶材原子或分子射出并沉積、成膜于襯底表面的鍍膜技術(shù)。
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