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中文:襯底;英文:substrate

關鍵詞
解釋
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又稱“基板”。沉積薄膜或微加工半導體器件時用作載體的基礎材料。常為單晶,如外延生長半導體薄膜或向其內注入雜質原子時,要求有一定厚度、與在其上生長的薄膜材料有好的晶格匹配的單晶。
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