解釋
中文:圖形化藍寶石襯底;英文:patterned sa-pphire substrate / PSS的原理;中文:圖形化藍寶石襯底;英文:patterned sa-pphire substrate / PSS的定義;中文:圖形化藍寶石襯底;英文:patterned sa-pphire substrate / PSS是什么。
用標準光刻工藝和刻蝕技術制作周期性、規則的幾何圖形,依此圖形再進行后續薄膜外延的藍寶石襯底。圖形線度為納米至微米量級。以此減少外延薄膜中的缺陷和增強LED 的出光效率。是基于藍寶石襯底的LED工藝。