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中文:外延;英文:epitaxy

關(guān)鍵詞
解釋
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用物理或化學(xué)方法在單晶襯底上依特定晶向生長出與襯底晶格匹配的另一種同質(zhì)或異質(zhì)單晶薄膜的半導(dǎo)體制備工藝。如氫化物氣相外延、液相外延、分子束外延等。
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