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中文：計(jì)算光刻；英文：computing lithography

解釋
中文：計(jì)算光刻；英文：computing lithography的原理；中文：計(jì)算光刻；英文：computing lithography的定義；中文：計(jì)算光刻；英文：computing lithography是什么。
 將光刻成像的物理模型數(shù)字化，利用優(yōu)化的控制算法實(shí)現(xiàn)的光刻工藝。
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