m高分辨紫外波前傳感器助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展!摘要：本文介紹了紫外波前傳感器在半導(dǎo)體檢測(cè)中的應(yīng)用。詳細(xì)闡述了其在晶圓檢測(cè)、芯片檢測(cè)、封裝檢測(cè)以及光學(xué)元件檢測(cè)中的具體應(yīng)用。指出紫外波前傳感器能夠提供高精度的檢測(cè)數(shù)據(jù)，幫助工程師及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并進(jìn)行修復(fù)，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。上海昊量光電設(shè)備有限公司推出全新一代高分辨率紫外波前傳感器，探測(cè)波段覆蓋190-400nm。該高分辨率紫外波前傳感器具有可測(cè)試匯聚光斑，高動(dòng)態(tài)范圍，大通光面（13.3mm x13.3mm），高分辨率(512x512)，消色差，震動(dòng)不敏感等特點(diǎn)。半導(dǎo)體技術(shù)在現(xiàn)代社會(huì)中扮演著越來越重要的角色。隨著半導(dǎo)體器件尺寸的減小和集成度的提高 ...

光波的相位和波前呈螺旋型，其在柱坐標(biāo)系（r,φ,z）下的復(fù)振幅表達(dá)式中含有螺旋相位項(xiàng)eilφ, 其中l(wèi)可為任一整數(shù)。由于光束中心存在相位奇點(diǎn)，因此相位渦旋光束的光場(chǎng)分布是中空環(huán)形。偏振渦旋光束，即在光場(chǎng)橫截面上具有渦旋分布偏振態(tài)的光束。與常見的線偏振，橢圓偏振和圓偏振等各向同性偏振光不同，偏振渦旋光束具有各向異性的偏振態(tài)分布，光場(chǎng)橫截面中每一點(diǎn)都具有自己獨(dú)特的偏振方向，表現(xiàn)出很強(qiáng)的矢量偏振特性，因此偏振渦旋光束也稱為矢量光束。光的自旋角動(dòng)量與光束的偏振性質(zhì)緊密相關(guān)，而光的軌道角動(dòng)量則源于光場(chǎng)橫截面的復(fù)場(chǎng)分布，表征光束的波前性質(zhì)。傍軸近似下，渦旋光束的軌道角動(dòng)量與自旋角動(dòng)量可分解開，光子的角動(dòng)量 ...

一、慧差的概念慧差，也叫彗形像差，Coma Aberration，是軸外物點(diǎn)(或稱軸外視場(chǎng)點(diǎn))所發(fā)出的錐形光束通過光學(xué)系統(tǒng)成像后，在理想像面不能成完美的像點(diǎn)，而是形成拖著尾巴的如彗星形狀的光斑，故對(duì)此光學(xué)系統(tǒng)的這種像差稱其為慧差。如圖所示二、慧差的特點(diǎn)在邊區(qū)一帶光線形成亮度較低，虛散的大環(huán)形，主光軸一帶光線形成高亮度清晰的小環(huán)形。重疊后形成梨狀圓形，類似彗星拖尾。如圖所示三、慧差產(chǎn)生的原因球面透鏡各光區(qū)成像的放大率不一致，導(dǎo)致各光區(qū)的焦點(diǎn)不同。是由軸外點(diǎn)寬光束的主光線與球面對(duì)稱軸不重合，而由折射球面的球差引起的。四、慧差的種類慧差的種類很多，分類方法不一，在彗形亮斑的朝向上可分為外向慧差和內(nèi)向 ...

一、場(chǎng)曲的概念場(chǎng)曲，又稱像場(chǎng)彎曲，F(xiàn)ield Curvature，顧名思義，是指平面物體通過透鏡系統(tǒng)后，所有平面物點(diǎn)聚焦后的像面不與理想像平面重合，而是呈現(xiàn)為一個(gè)彎曲的像面，這種現(xiàn)象稱為場(chǎng)曲。有時(shí)我們也理解為視場(chǎng)聚焦后像面的彎曲。如圖所示二、場(chǎng)曲的特點(diǎn)在高斯成像面上進(jìn)行一定左右移動(dòng)，可以明顯看到其像越偏離中心，像質(zhì)越差；而如在高斯成像面上進(jìn)行一定弧度的擺動(dòng)，則可以發(fā)現(xiàn)像與中心同樣清晰。換句話說，讓成像面進(jìn)行前后移動(dòng)，可以清晰的觀察到中心像與邊緣的像的像質(zhì)不同，不能保證同時(shí)清晰。場(chǎng)曲與像散一般來說是同時(shí)產(chǎn)生，透鏡對(duì)平面物體能夠結(jié)成的雙重影像，主像面為橫切線焦面，副像面為輻射線焦面。如果兩個(gè)像面不 ...

一、色差的概念多數(shù)的成像鏡頭都是應(yīng)用于可見光波段，其波長(zhǎng)大約在400~700nm，這就引入了多色光情況下成像后的顏色分離，也就是色散現(xiàn)象。色差，指顏色像差，是透鏡系統(tǒng)成像時(shí)的一種嚴(yán)重缺陷，由于同種材料對(duì)不同波長(zhǎng)的光有不同的折射率，便造成了多波長(zhǎng)的光束通過透鏡后傳播方向分離。簡(jiǎn)單來說，色差就是顏色分離帶來的光學(xué)系統(tǒng)的像差。色差分兩種，一種叫做軸向色差，另一種叫做垂軸色差。本章我們只詳細(xì)介紹垂軸色差。二、垂軸色差的概念垂軸色差，Lateral Color，也叫做倍率色差、橫向色差，指軸外視場(chǎng)不同波長(zhǎng)光束通過透鏡聚焦后在想面上高度各不相同，也就是每個(gè)波長(zhǎng)成像后放大率不同，故稱為倍率色差。多個(gè)波長(zhǎng)的焦 ...

改變相干光束波前的調(diào)制器。 通過將液晶材料的電光性能特征與基于硅的數(shù)字電路相結(jié)合，Meadowlark Optics 現(xiàn)在提供了高分辨率的 SLM，這些 SLM 還具有物理緊湊性和高光學(xué)效率。圖一：緊湊的HSP1K（1024×1024）系列和E19×12（1920×1200）系列SLMMeadowlark Optics 的硅基液晶 (LCoS) 空間光調(diào)制器 (SLM) 專為純相位應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并結(jié)合了具有高刷新率的模擬數(shù)據(jù)尋址。 這種組合為用戶提供最快的響應(yīng)時(shí)間和高相位穩(wěn)定性。這些SLM 適用于需要高速、高衍射效率、低相位紋波和高功率激光的應(yīng)用。特點(diǎn)一：高刷新速度1024 x 1024分辨率的 ...

性等所產(chǎn)生的波前變形，通過測(cè)量電磁波的復(fù)振幅分布來實(shí)現(xiàn)，而復(fù)振幅的測(cè)量則是通過將變形波前與理想波前進(jìn)行混合的互相關(guān)完成。波形表示電磁波的復(fù)振幅，干涉波的振幅相同，當(dāng)兩束波的相位相差π時(shí)，振幅恰好相互抵消；當(dāng)兩束波的相位相同時(shí)，合成波的復(fù)振幅是單一波束振幅的2倍。如下圖2.1所示。2.1復(fù)振幅的合成2.2明暗條紋對(duì)比度由于光強(qiáng)便于探測(cè)，一般用強(qiáng)度來表示對(duì)比度。上式Imax為兩束相干光同相時(shí)振幅的時(shí)間平均；Imin為反相時(shí) 兩束相干光的振幅時(shí)間平均。3.干涉儀的分類（1）斐索干涉儀3.1斐索干涉儀與其它干涉儀相比較而言，斐索干涉儀多了一些限制，光源的譜線寬度 限制了其相干性，因此，分光鏡的表面必須 ...

與物鏡后瞳孔波前共軛，微透鏡陣列通過對(duì)波前分段，在單個(gè)透鏡后傳輸角度信息，從而使相機(jī)在不同區(qū)域輸出圖像。圖6傅里葉光場(chǎng)系統(tǒng)通過在傅里葉域（FD）中記錄4D光場(chǎng)，成像方案主要通過兩種方式對(duì)LFM進(jìn)行變換。首先，F(xiàn)D系統(tǒng)允許以一致的混疊方式分配入射光的空間和角度信息，有效地避免由于冗余而產(chǎn)生的任何偽影。第二，由于FD以并行方式處理信號(hào)，因此可以用統(tǒng)一的三維點(diǎn)擴(kuò)展函數(shù)來描述圖像形成，從而大大減少了計(jì)算成本。3.光場(chǎng)傳播和成像模型結(jié)合光場(chǎng)顯微技術(shù)和傅里葉變換理論的有關(guān)知識(shí)，微型化傅里葉光場(chǎng)顯微鏡的設(shè)計(jì)是在光場(chǎng)顯微鏡的基礎(chǔ)上引入一個(gè)新的光學(xué)透鏡，這一透鏡放置的位置應(yīng)遠(yuǎn)離像平面NIP處，同時(shí)應(yīng)放置在主透鏡 ...

正信道的畸變波前和使用偏振復(fù)用高階復(fù)雜調(diào)制格式，實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。研究發(fā)現(xiàn)，自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)不會(huì)對(duì)相干調(diào)制格式的接收產(chǎn)生畸變。此外，我們還介紹了星座調(diào)制——一種新的四維BPSK (4D-BPSK)調(diào)制格式，作為在很低信噪比下傳輸高數(shù)據(jù)速率的技術(shù)。通過這種方式，我們展示了53公里FSO傳輸速率為13.3 Gbit/s和210 Gbit/s，每比特分別只有4.3和7.8光子，誤碼率為1?10-3。實(shí)驗(yàn)表明，相干調(diào)制編碼與全自適應(yīng)光濾波相結(jié)合是實(shí)現(xiàn)下一代Tbit/s衛(wèi)星通信實(shí)用化的有效手段。9.反向納米聚焦波導(dǎo)中鉺的發(fā)射增強(qiáng)（Emission enhancement of erbium in a rev ...

原因是激光的波前在光線內(nèi)周期性振蕩。圖2 不同模式下光纖內(nèi)光束質(zhì)量為了更好的對(duì)比，我們模擬了基模激光分別從三臂輸入光纖合束器的情況，在Z=14mm處的光場(chǎng)分布如下圖3所示。激光計(jì)算可得三路合成時(shí)x，y方向上的平均光束質(zhì)量分別為5.77和5.80，這樣的結(jié)果顯然不夠理想。圖3 基模三臂入射時(shí)Z=14mm處光場(chǎng)分布為了更為具體地確認(rèn)入射激光中LP02模和LP11模對(duì)光束質(zhì)量的影響，特意加入了一個(gè)中間模式——80%LP01+10%LP02+10%LP11。隨后我們對(duì)四種情況進(jìn)行仿真，得到了四種模式下激光入射到光纖功率合束器后再Z=25mm處的光場(chǎng)分布，如圖4所示。圖4四種模式下激光入射到光纖功率合束 ...