193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導體/光刻機行業發展！摘要：昊量光電聯合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術-四波橫向剪切干涉技術，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度，能夠精確測量紫外光波前的細微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學元件表征（DUV光刻、半導體等領域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導體/光刻機行業中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率，消色差，對震 ...

Phasics波前傳感器的應用案例（一）SID4在超快超強激光的前沿應用Phasics的波前傳感器憑借其卓越的精度和廣泛的適用性，已成為超快、超強激光設施中的關鍵診斷工具。以下是一些近期應用實例，展示了SID4系列波前傳感器在國際前沿科研中的應用場景及其對高能激光系統優化的貢獻：一、SID4在超快超強激光的前沿應用1.1對研究過程中因熱效應引起的波前畸變分析-中國科學院上海光學精密機械研究所和中國科學院大學材料科學與光電工程中心圖1 多程激光放大系統中國科學院上海光學精密機械研究所和中國科學院大學材料科學與光電工程中心的研發團隊選擇了Phasics SID4波前傳感器，對研究過程中因熱效應引起 ...

Phasics波前傳感器的應用案例（二）SID4在透鏡/鏡頭檢測方面的解決方案Phasics波前傳感器以其獨有的橫向四波剪切技術聞名，其推出的SID4系列波前傳感器以高靈敏度、高分辨率、高重復性的特點更受市場青睞，以下為SID4在透鏡/鏡頭檢測方面的具體案例應用。一、對復雜超表面進行精確表征的一種方法-超透鏡1.1 針對超表面測量Phasics具備的優勢傳統的低分辨率技術很難準確測量超透鏡的復雜特征，Phasics針對超透鏡提出了高效的解決方案，并具備以下4點優勢:Phasics sC8搭載顯微鏡測量場景1.亞波長空間尺度下的高精度測量：Phasics的波前傳感器不僅具備優于2nm RMS的光 ...

比如下圖為濾波前后的點云效果對比。點云濾波的主要方法有：雙邊濾波、高斯濾波、條件濾波、直通濾波、隨機采樣一致濾波、VoxelGrid濾波等。雙邊濾波雙邊濾波是一種非線性濾波器，它可以達到保持邊緣、降噪平滑的效果。和其他濾波原理一樣，雙邊濾波也是采用加權平均的方法，用周邊像素亮度值的加權平均代表某個像素的強度，所用的加權平均基于高斯分布[1]。最重要的是，雙邊濾波的權重不僅考慮了像素的歐氏距離（如普通的高斯低通濾波，只考慮了位置對中心像素的影響），還考慮了像素范圍域中的輻射差異（例如卷積核中像素與中心像素之間相似程度、顏色強度，深度距離等），在計算中心像素的時候同時考慮這兩個權重。高斯濾波圖像大 ...

一、畸變的概念畸變，Distortion，是指物體通過鏡頭成像時，實際像面與理想像面間產生的形變。畸變只影響圖像的形狀，不影響圖像清晰度，但在設計時要盡量減少或者避免，因為人眼對圖像形變的響應能力高于對清晰度的響應。如圖所示二、畸變的特點畸變是指圖像變形。枕形畸變：也叫絲卷型畸變，如果鏡頭的邊緣放大率大于中間的放大率，就會發生枕形畸變，同心圓的像間距就不均勻，即邊緣間距大于中間間距，矩形的像不再是矩形；桶形畸變：也叫樽型畸變，如果鏡頭的邊緣的放大率小于中間的放大率，就會發生桶形畸變。同心圓的像間距就不均勻，即邊緣間距小于中間間距，矩形的像不再是矩形；如果沒有畸變，像與物就是完全相似的。即同心圓 ...

一、色差的概念多數的成像鏡頭都是應用于可見光波段，其波長大約在400~700nm，這就引入了多色光情況下成像后的顏色分離，也就是色散現象。色差，指顏色像差，是透鏡系統成像時的一種嚴重缺陷，由于同種材料對不同波長的光有不同的折射率，便造成了多波長的光束通過透鏡后傳播方向分離。簡單來說，色差就是顏色分離帶來的光學系統的像差。色差分兩種，一種叫做軸向色差，另一種叫做垂軸色差。本章我們只詳細介紹軸向色差。二、軸向色差的概念軸向色差，Longitudinal Aberration，也叫做球色差、位置色差、縱向色差，指不同波長的光束通過透鏡后焦點位于沿軸的不同位置，因為它的形成原因同球差相似，顧也稱其為球 ...

成像光學設計必須校正光學系統的像差，但既不可能也不需要把像差校正到完全理想的程度，因此需要選擇像差的最佳校正方案，也需要確定校正到怎樣的程度才能滿足使用要求,即確定像差容限。這兩方面都屬于光學系統質量評價問題，它對光學設計者具有重大指導意義。一般而言，有以下幾種評價光學系統質量的標準。1.斯特列爾判斷2.瑞利判斷3.分辨率4.點列圖5.光學傳遞函數我們接下來一一進行介紹。一、斯特列爾判斷光學系統有像差的時候，衍射圖樣中中心亮斑（即艾里斑）占有的光強度比理想成像的時候要低，這兩者的光強度之比稱為Strehl強度比，又稱為中心點亮度，以S.D.表示。Strehl判斷認為，中心點亮度S.D.> ...

一、球差的初步計算球差也叫球面像差，Spherical Abereation，是所有幾何像差中最簡單也是最基本的像差，其中好幾種軸外單色像差均與球差有一定聯系。不同傾角的光線交光軸于不同位置上，相對于理想像點的位置有不同的偏離。這是單色光的成像缺陷之一，稱為球差。如圖所示在上圖中，在軸上點A的理想像為A0’,由A點發出的過入瞳邊緣的光線（marginal ray)從系統出射后，交光軸于一點，而由于球差可見到在12345個孔徑帶上成像不同，而它們的像方截距分別為L’于l’，則其為這條光纖的球差。。顯然，在邊緣光纖以內與光軸成不同角度的各條光線都有各自的球差。而如上圖所示為球差小于0的情況。如果經 ...

測試參數包括波前通過視場，通過光譜范圍(從可見光到近紅外)，孔徑像差-球面像差，彗差，像散;場像差-失真，場曲率;色差-波前色差，橫向和軸向色差等。2. 通過物鏡、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運動來測試視場。3. 檢測精度如下表所示：3.畸變校正1. DifroMetric軟件導出/導入數據傳輸為標準光學設計軟件(ODS)。2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋系數表示。3. 實測像差系數CFZM可與設計系數CFZD進行數據比較，DifroMetric和光學設計軟件之間可交互作用。4. 比較的結果有助于選擇參數包括-氣隙，或其他參數，這對于在裝配過程中對待測件位置的調整有重要作用。4.D7系統的 ...

在系統中引入波前畸變，zui終影響M2的測量。為了驗證波前畸變對M2的影響，根據圖4所示的流程圖進行仿真。圖4 仿真縮束組件波相差對激光M2的影響圖5為0°視場下縮束組件的波前圖和各項系數，通過zemax分析可知當入射波長為1064nm時，PV值為0.0039λ，低于λ/10的設計要求。圖5 0°視場下縮束組件波前圖圖6為0°視場下縮束組件的激光M2曲線，根據該結果可知，當視場為0°時，x方向的M2為1.0338，Y方向的M2為1.0340。而隨著視場角度的逐漸增大，x方向的傾斜項、慧差項、離焦項、像散項和球差項均增大，y方向的傾斜項和慧差項則保持不變，計算得到不同視場下的M2，結果如圖7所示 ...