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關鍵詞
解釋
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用物理或化學方法在單晶襯底上依特定晶向生長出與襯底晶格匹配的另一種同質或異質單晶薄膜的半導體制備工藝。如氫化物氣相外延、液相外延、分子束外延等。
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